PRODUCT
끊임없는 연구 개발 및 차별화된 기술력으로 시대를 앞서 가는 기업
Wafer Chuck Control
LEPCS
SPEC
- - 60 ~ 200℃ Range
- 6 ~ 12″ Hot & Cool Chuck System
FEATURE
- Leakage Current Level ( ＜200pA)
- Coolant Circulation to Chuck
- All Stainless Steel Plumbing & Welding
- PID Control
- User Interface
APPLICATION
- EDS Probe Chuck & Chiller
- Manual Probe Chuck & Chiller
